日立扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术，使其低电压性能大大提升，同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更为简单。